ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ ДЛЯ МОДЕЛИРОВАНИЯ КИНЕТИКИ МНОГОКОМПОНЕНТНОГО ИОННОГО ПОТОКА В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ ПРИ ОБРАБОТКЕ ДЕТАЛЕЙ СЛОЖНОЙ ФОРМЫ

C использованием информационных технологий разработана модель кинетики многокомпонентного ионного потока в тлеющем разряде для модификации поверхностей сложных геометрий. Модель учитывает возможные траектории ионов в межэлектродном промежутке плазмогенератора тлеющего разряда, вызванные действием электромагнитного поля тлеющего разряда, внешнего магнитного поля и резонансной составляющей, отражающей усиление энергетического воздействия на обрабатываемый материал при совпадении собственной частоты кристаллитов и возбуждающей частоты ионного потока. Установлена зависимость скорости ионов V0(x) в момент их воздействия на обрабатываемую поверхность от координат точек на поверхностях сложной формы для характерных значений резонансного коэффициента. Модель отличается достаточной степенью адекватности для инженерных расчетов при плазменной обработке сложнопрофильных поверхностей. При этом обеспечивается физически обоснованное и численно устойчивое описание распределения энергии ионного потока в тлеющем разряде, что позволяет оптимизировать параметры режима ионной модификации и управление дальнодействующим эффектом при формировании физико-механических свойств поверхностного слоя деталей сложной формы.