ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ПАРАМЕТРА SLR ДЛЯ ОЦЕНКИ ЛОКАЛЬНОЙ НЕОДНОРОДНОСТИ МОДИФИЦИРОВАННОГО СЛОЯ НА ПОВЕРХНОСТЯХ СЛОЖНОЙ ФОРМЫ ПРИ ОБРАБОТКЕ В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ

С использованием информационных технологий реализован параметрический подход к оценке неоднородности модифицированного поверхностного слоя на заготовках сложной формы, основанный на применении степени локального реагирования (SLR — Sensitivity Level for Response). Изменение чувствительности критерия к локальным вариациям глубины модифицированного слоя позволяет количественно оценивать степень его однородности. Предлагаемый подход обеспечивает избирательный учет экстремальных дефектов, критичных для функционального состояния рабочих сопрягаемых поверхностей в прецизионных изделиях, и в этом отношении он обладает большей информативностью по сравнению с традиционными дисперсионными характеристиками. При построении модели использован вариационный формализм, учитывающий геометрию объекта, пространственное распределение ионного потока и эффект экранирования. Проведено численное моделирование для сферических заготовок, выполнено сопоставление расчетных данных с результатами экспериментальных измерений методами XPS и GD-OES, а также проанализирована чувствительность модели при различных режимах обработки в тлеющем разряде. Полученные результаты демонстрируют высокую точность модели (MAE = 10,4 нм, R2 = 0,96) и подтверждают практическую применимость предложенного подхода для оптимизации технологических режимов и построения систем контроля качества при обработке поверхностей сложной формы.